تطبيقات عملية التنظيف بالليزر في الصناعات التحويلية عالية القيمة - Elena
1.3 تنظيف الليزر الزاوي
على عكس النموذجي التنظيف بالليزرتقوم تقنية التنظيف بالليزر الزاوي بإشعاع السطح الملوث بزاوية خاطفة. يُزعم أن هذا يحسن كفاءة التنظيف بشكل كبير بمقدار 10 مرات مقارنةً بالتنظيف بالليزر النموذجي الذي يستخدم تشعيعًا عموديًا [8،9]. ومع ذلك ، فإن فعاليتها تعتمد على خصائص السطح وحجم الملوثات.
1.4 تنظيف الصدمات بالليزر
في التنظيف بالصدمات بالليزر (LSC) ، يتم تركيز ليزر عالي الكثافة على بقعة ضيقة ، أعلى قليلاً من العينة لتنظيفها. لكن الانهيار الناجم عن الليزر (LIB) للغاز ينتج موجة ضغط صدمة قوية. مما يؤثر على السطح ليكون نظيفًا. لقد ثبت أن التنظيف بالصدمات بالليزر فعال لإزالة الجسيمات النانوية.
أوضح ليم وكيم أنه يمكن دمج تقنية LSC مع التنظيف الكيميائي في المرحلة السائلة لإزالة طبقات الأكسيد. في العملية المعدلة ، يحدث LIB داخل محلول سائل ويسرع ضغط الصدمة الناتج في السائل بشكل كبير من عملية التنظيف. في عمل آخر قام به ليم وكيم ، كان تأثير موجات الصدمة المحرضة بالليزر تحت الغازات المختلفة مميزًا باستخدام التصوير بالوميض الليزري وعملية انحراف الحزمة الضوئية. تظهر النتائج التجريبية لانتشار موجة الصدمة. أن الانهيار البصري للغازات (هواء ، هي ، ن2، Ar) بواسطة ليزر Nd: YAG النبضي نانوثانية يمكن أن ينتج موجات صدمة بسرعة تصل إلى 1000 م / ث وكثافة ضغط حوالي 1 ميجا باسكال.
1.5 التنظيف البصري الديناميكي بمساعدة الليزر
باختصار ، يعد تنظيف الجسيمات دون الميكرون مهمة صعبة دائمًا. طور Ahn تقنية معالجة مواد الرش القائمة على الليزر لتنظيف جزيئات المترددات الدقيقة. في هذه العملية ، يتم استخدام نفاث سائل عالي السرعة (1600 متر / ثانية) يتم إنتاجه بمساعدة البلازما المستحثة بالليزر لتطبيقات معالجة المواد ، بما في ذلك التنظيف بالليزر. يوضح آلية عملية تنظيف البصريات الديناميكية النموذجية. في هذه العملية ، ينتج عن الانهيار الناجم عن الليزر لقطرة ماء بحجم ميكرومتر نفاث عالي السرعة (بسرعات تصل إلى 1600 م / ث). الذي يزيل ملوثات الجسيمات من الركيزة. يعتمد أداء عملية التنظيف البصري الديناميكي على عوامل مختلفة. بما في ذلك طاقة الليزر ، والموضع النسبي للقطرة ، ومسافة الفجوة بين القطرة والسطح. وعدد النبضات لكل موضع (NOP).
ومع ذلك ، في عام 2016 ، López et al. اقترح التنظيف بالليزر بمساعدة القطرات (DALC) كطريقة تصنيع جديدة. يستغل ذلك الإمكانات المشتركة لمعالجة الصدمات بالليزر والمعالجة الديناميكية الضوئية من خلال التبخير المتفجر لقطرات السائل. يستخدم DALC ليزر Nd: YAG 355 نانومتر لتبخير تيار من الماء. القطرات لإنتاج متوالية من موجات الصدمة المؤثرة على سطح المكون المعني. لذلك ، يمكننا استخدام موجات الصدمة المتولدة لتطبيقات معالجة المواد المختلفة ، بما في ذلك تنظيف الملوثات.
